Vakuumtechnik

Vakuumtechnik umfasst Geräte und Komponenten für die Erzeugung, Messung und Anwendung von Unterdruck in Industrie und Forschung. Zentrale Komponenten sind Vakuumpumpen aller Bauarten (Drehschieber-, Membran-, Trockenlauf-, Turbomolekular- und Diffusionspumpen) für Grob-, Fein- und Hochvakuum.

Für definierte Vakuumprozesse kommen Vakuumkammern verschiedener Größen zum Einsatz. Vakuumventile regeln den Druckverlauf und schützen die Pumpen. Vakuumlecksuchgeräte mit Helium-Detektion gewährleisten die Dichtigkeit von Bauteilen. Vakuumförderanlagen transportieren Schüttgüter, Pulver oder Granulate berührungslos.

Führende Hersteller sind Leybold, Pfeiffer Vacuum, Edwards, Busch, Ulvac, Atlas Copco, INFICON, Agilent und Becker.

Anwendung findet Vakuumtechnik in der Halbleiter- und Beschichtungstechnik, Pharma- und Lebensmittelproduktion (Vakuum-Verpackung), in der Glasindustrie, Forschungslaboren sowie in der Holzbearbeitung (Vakuum-Spanntische).