A vákuumtechnika az iparban és a kutatásban az alacsony nyomás előállításához, méréséhez és alkalmazásához szükséges berendezéseket és alkatrészeket foglalja magában. A legfontosabb alkatrészek a különféle típusú vákuumszivattyúk (rotációs, membrán-, szárazfutású, turbomolekuláris és diffúziós szivattyúk) a durva-, finom- és magas vákuumhoz.
Meghatározott vákuumfolyamatokhoz különböző méretű vákuumkamrákat használnak. A vákuumszelepek szabályozzák a nyomásváltozást és védik a szivattyúkat. A héliumdetektálással működő vákuumszivárgás-kereső készülékek biztosítják az alkatrészek szivárgásmentességét. A vákuumszállító rendszerek érintés nélkül szállítják az ömlesztett anyagokat, porokat vagy granulátumokat.
A vezető gyártók a Leybold, a Pfeiffer Vacuum, az Edwards, a Busch, az Ulvac, az Atlas Copco, az INFICON, az Agilent és a Becker.
A vákuumtechnika alkalmazási területei a félvezető- és bevonat-technika, a gyógyszer- és élelmiszeripar (vákuumcsomagolás), az üvegipar, a kutató laboratóriumok, valamint a famegmunkálás (vákuumfeszítő asztalok).