Vacuümtechnologie

Vacuümtechniek omvat apparatuur en componenten voor het genereren, meten en toepassen van onderdruk in de industrie en het onderzoek. Centrale componenten zijn vacuümpompen van alle typen (roterende-schuif-, membraan-, drooglopende, turbomoleculaire en diffusiepompen) voor grof-, fijn- en hoogvacuüm.

Voor gedefinieerde vacuümprocessen worden vacuümkamers van verschillende afmetingen gebruikt. Vacuümkleppen regelen het drukverloop en beschermen de pompen. Vacuümlekdetectoren met heliumdetectie garanderen de dichtheid van componenten. Vacuümtransportsystemen vervoeren stortgoederen, poeder of granulaat contactloos.

Toonaangevende fabrikanten zijn Leybold, Pfeiffer Vacuum, Edwards, Busch, Ulvac, Atlas Copco, INFICON, Agilent en Becker.

Vacuümtechniek wordt toegepast in de halfgeleider- en coatingtechniek, de farmaceutische en voedingsmiddelenproductie (vacuümverpakking), in de glasindustrie, onderzoekslaboratoria en in de houtbewerking (vacuümspantafels).