La tecnologia del vuoto comprende apparecchiature e componenti per la generazione, la misurazione e l'applicazione del vuoto in ambito industriale e di ricerca. I componenti principali sono le pompe per vuoto di ogni tipo (a rotativa, a membrana, a secco, turbomolecolari e a diffusione) per vuoto grossolano, fine e spinto.
Per processi di vuoto definiti vengono utilizzate camere a vuoto di diverse dimensioni. Le valvole per vuoto regolano l’andamento della pressione e proteggono le pompe. I rilevatori di perdite da vuoto con rilevamento dell’elio garantiscono la tenuta dei componenti. Gli impianti di trasporto sottovuoto trasportano materiali sfusi, polveri o granulati senza contatto.
I principali produttori sono Leybold, Pfeiffer Vacuum, Edwards, Busch, Ulvac, Atlas Copco, INFICON, Agilent e Becker.
La tecnologia del vuoto trova applicazione nella tecnologia dei semiconduttori e dei rivestimenti, nella produzione farmaceutica e alimentare (confezionamento sottovuoto), nell'industria del vetro, nei laboratori di ricerca e nella lavorazione del legno (tavoli di serraggio sottovuoto).