La tecnología del vacío abarca equipos y componentes para la generación, medición y aplicación de vacío en la industria y la investigación. Los componentes principales son las bombas de vacío de todo tipo (bombas de paletas, de membrana, de funcionamiento en seco, turbomoleculares y de difusión) para vacío grueso, fino y alto.
Para procesos de vacío definidos se utilizan cámaras de vacío de distintos tamaños. Las válvulas de vacío regulan la evolución de la presión y protegen las bombas. Los detectores de fugas de vacío con detección de helio garantizan la estanqueidad de los componentes. Los sistemas de transporte por vacío transportan productos a granel, polvos o granulados sin contacto.
Los principales fabricantes son Leybold, Pfeiffer Vacuum, Edwards, Busch, Ulvac, Atlas Copco, INFICON, Agilent y Becker.
La tecnología de vacío se aplica en la tecnología de semiconductores y recubrimientos, en la producción farmacéutica y alimentaria (envasado al vacío), en la industria del vidrio, en laboratorios de investigación, así como en el trabajo de la madera (mesas de sujeción al vacío).