La technologie du vide comprend les appareils et les composants destinés à la génération, à la mesure et à l'application du vide dans l'industrie et la recherche. Les composants essentiels sont les pompes à vide de tous types (à palettes, à membrane, à sec, turbomoléculaires et à diffusion) pour le vide grossier, le vide fin et le vide poussé.
Des chambres à vide de différentes tailles sont utilisées pour des processus sous vide définis. Les vannes à vide régulent la courbe de pression et protègent les pompes. Les détecteurs de fuites sous vide à hélium garantissent l'étanchéité des composants. Les systèmes de transport sous vide acheminent les produits en vrac, les poudres ou les granulés sans contact.
Les principaux fabricants sont Leybold, Pfeiffer Vacuum, Edwards, Busch, Ulvac, Atlas Copco, INFICON, Agilent et Becker.
La technologie du vide trouve des applications dans la technologie des semi-conducteurs et des revêtements, la production pharmaceutique et alimentaire (emballage sous vide), l’industrie du verre, les laboratoires de recherche ainsi que dans le travail du bois (tables de serrage sous vide).